突破!高性能多晶金刚石散热片

随着电子器件越来越小、功率越来越高,散热成为制约性能的“头号难题”。传统材料(如铜、硅)热导率有限,而金刚石的热导率是铜的 5倍 以上,堪称“散热王者”!但大尺寸高导热金刚石制备成本高、工艺复杂,如何实现高效又经济的生产?

突破!高性能多晶金刚石散热片

多晶金刚石散热片的制备工艺

哈尔滨工业大学团队采用 MPCVD技术,在真空环境中通过微波激发气体(氢气、甲烷、氮气),让碳原子在硅衬底上“生长”成金刚石。

 

关键突破:

甲烷浓度:降低甲烷比例(从8%降至5%),减少杂质碳沉积,提升晶体质量。

生长温度:提高温度(930~950℃),促进晶粒横向扩展,让结构更致密。

 

实验结果:高热导率+低翘曲

团队制备了5组样品(S1-S5),发现:

最优性能:样品S3(甲烷5%,温度930℃)热导率高达 1208 W/(m·K),翘曲值仅37微米,远超国际同类产品(如Element Six的1000-2200 W/(m·K))。

速度与质量的平衡:虽然降低甲烷会减缓生长速率(5.8 μm/h),但热导率显著提升,且翘曲更小,后期加工更容易。

通过X射线衍射和拉曼光谱分析发现:

<111>晶面主导:晶体排列更规整,减少晶界缺陷。

低甲烷+高温:抑制非晶碳生成,晶粒尺寸更大,热传导路径更畅通。

与国外领先企业Element Six和Sumitomo Electric Industries相比,本研究通过优化工艺参数,实现了热导率超过1200 W/(m·K)的多晶金刚石散热片的制备,同时保证了较高的生长速率(5.8微米/小时)和较低的翘曲值(37微米)。通过后续工艺改进,有望实现更高速率下高导热金刚石散热片的制备,从而有效降低其生产成本。

 

未来应用前景

多晶金刚石散热片在以下领域具有广阔的应用前景:

高性能计算:用于CPU、GPU等高功率芯片的散热。

5G/6G通信:用于射频器件和功率放大器的散热。

新能源汽车电子:用于微波逆变器和功率模块的散热。

航空航天:用于高可靠性电子设备的散热。

通过不断优化制备工艺,多晶金刚石散热片有望成为未来高效散热解决方案的重要组成部分,为电子器件的性能提升提供强有力的支持。

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