紧密式安瓿热管理系统,美国应用材料公司 作者:戴维·K·卡尔森,埃罗尔·安东尼奥·C·桑切斯,肯里克·乔伊,玛塞勒·E·约瑟夫森,丹尼斯·德马斯,埃姆雷·库瓦利奇,穆罕默德·图格鲁利·萨姆特 ,热管理网专利下载
热管理专利详情：
- 作者：戴维·K·卡尔森,埃罗尔·安东尼奥·C·桑切斯,肯里克·乔伊,玛塞勒·E·约瑟夫森,丹尼斯·德马斯,埃姆雷·库瓦利奇,穆罕默德·图格鲁利·萨姆特
- 申请人：应用材料公司
- 国省名称：美国
- 公开号：CN104335326A
- 公开日：2015-02-04
- 专利类别：发明公开
- 文件大小：539.2KB
专利摘要：
在此提供用于热管理在基板处理中使用的前驱物的设备。在一些实施方式中,一种用于热管理在基板处理中使用的前驱物的设备可包括：主体,所述主体具有开口,所述开口依一定尺寸设计以接纳储存容器,所述储存容器内设置有液体或固体前驱物,所述主体由导热材料制造；一或多个热电装置,所述一或多个热电装置邻近所述开口而耦接至所述主体；以及散热体,所述散热体耦接至所述一或多个热电装置。
专利主权项：
一种用于热管理在基板处理中使用的前驱物的设备,包括：主体,所述主体具有开口,所述开口依一定尺寸设计以接纳储存容器,所述储存容器内设置有液体或固体前驱物,所述主体由导热材料制造；一或多个热电装置,所述一或多个热电装置邻近所述开口而耦接至所述主体；以及一或多个散热体,所述一或多个散热体耦接至所述一或多个热电装置。
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