多基板热管理设备,美国应用材料公司 作者:K·贝拉,K·韦洛尔,A·康斯坦特,J·纽曼,J·伯拉尼克,J·舒浩勒,W·威弗,R·沃派特,B·莱尔顿 ,热管理网专利下载
热管理专利详情：
- 作者：K·贝拉,K·韦洛尔,A·康斯坦特,J·纽曼,J·伯拉尼克,J·舒浩勒,W·威弗,R·沃派特,B·莱尔顿
- 申请人：应用材料公司
- 国省名称：美国
- 公开号：CN106575619A
- 公开日：2017-04-19
- 专利类别：发明公开
- 文件大小：723.7KB
专利摘要：
本文中提供了多基板热管理设备的实施例。在一些实施例中,多基板热管理设备包括：多个板,所述多个板竖直地布置在彼此上方；多个通道,所述多个通道延伸穿过所述多个板中的每一个；供应歧管,所述供应歧管包括供应通道,所述供应通道在第一位置耦接到所述多个板；以及返回歧管,所述返回歧管包括返回通道,所述返回通道在第二位置通过多个支腿耦接到所述多个板,其中所述供应通道和所述返回通道被流体耦接到所述多个通道,以使传热流体流过所述多个板。
专利主权项：
一种多基板热管理设备,所述多基板热管理设备包括：多个板,所述多个板竖直地布置在彼此上方；多个通道,所述多个通道延伸穿过所述多个板中的每一个；供应歧管,所述供应歧管包括供应通道,所述供应通道在第一位置耦接到所述多个板；以及返回歧管,所述返回歧管包括返回通道,所述返回通道在第二位置通过多个支腿耦接到所述多个板,其中所述供应通道和所述返回通道被流体耦接到所述多个通道,以使传热流体流过所述多个板。
多基板热管理设备专利下载：
版权声明：部分内容由互联网用户自行发布，该文仅代表作者本人观点。如有不适或侵权，请联系我们进行反馈，一经查实本站将予以删除。
