高功率RF MEMS开关的热管理,美国卡文迪什动力有限公司 作者:罗伯托·彼得勒斯·范·卡普恩,理查德·L·奈普 ,热管理网专利下载
热管理专利详情：
- 作者：罗伯托·彼得勒斯·范·卡普恩,理查德·L·奈普
- 申请人：卡文迪什动力有限公司
- 国省名称：美国
- 公开号：CN108352275B
- 公开日：2020-07-28
- 专利类别：发明授权
- 文件大小：1583.6KB
专利摘要：
本公开总体涉及用于制造可以切换大电功率的MEMS开关的机构。采用额外的着陆电极,其提供沿着MEMS器件的增加的电接触,使得在接触时移除靠近最热点的MEMS结构中的电流和热量。
专利主权项：
1.一种MEMS器件,包括：其中形成有多个电极的衬底,其中所述多个电极至少包括锚电极、拉入电极和RF电极；设置在所述多个电极和所述衬底之上的绝缘层；设置在所述绝缘层之上的开关元件,其中所述开关元件包括锚部分、腿部分和桥部分,并且其中所述锚部分电耦接到所述锚电极；耦接到所述RF电极的第一柱,其中所述第一柱直接设置在所述绝缘层上；以及电耦接到所述锚电极的第二柱,其中所述开关元件能够在与所述第一柱和所述第二柱间隔开的第一位置和与所述第一柱和所述第二柱接触的第二位置之间移动。
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